簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共1筆資料 檢索策略： "鄭逸琳".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="拋光墊修整"


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    拋光墊之修整力量分析與銅膜晶圓化學機械拋光影響研究
    • 機械工程系 /108/ 碩士
    • 研究生： 許仕忠   指導教授： 陳炤彰
    • 在化學機械平坦化/拋光(Chemical Mechanical Planarization/ Polishing, CMP)製程中，需要鑽石修整器來維持拋光墊表面之穩定性，而拋光墊表面形貌會直接影響…
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